CZ硅中間隙鐵沾污的沉淀規律

CZ硅中間隙鐵沾污的沉淀規律

全部作者： 曾俞衡 席珍強 楊德仁 第1作者單位： 浙江大學材料系硅材料國家重點實驗室 論文摘要： 鐵琌趾い程盽見??屬猤γ??趾い?間回態?蝋?蔨㎝↖鍺?Α???誹и們┮???們對鐵↖鍺??╯?璶棟い?區翰趾??對??┰趾い鐵↖鍺︽為?ぃ?だ睲貳?セゅ硄過?╯?┰單垂趾い?間回鐵濃??變て來?╯鐵?↖鍺規?? и們發現炊硄?┰單垂趾い鐵↖鍺規?顯帝ぃ??區翰趾い?鐵↖鍺規???┰單垂趾い鐵?↖鍺硉瞯隨著熱處瞶溫??ど藹τ糤??ぃ??著程?硉瞯?↖鍺溫????硄過Ham猭則進︽擬??發現?┰單垂趾い鐵?↖鍺?擴床???↖鍺?華?次狀?這???┰單垂趾鐵?↖鍺規?蒓間回??關?炒Τ關?進?˙?╯???間回鐵?會玃進間回??↖鍺? 關鍵詞： Ham猭則?擴床???micro-PCD?SIRM?FTIR (瀏覽全文) 發表日期： 2006年10月30日 同行評議：

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